Förderung für neuartige Halbleiter-Anlagen

Grünes Licht der EU: Bund darf Elektronikkonzern Zeiss mit 222 Millionen Euro fördern

Die Europäische Kommission hat Beihilfen des Bundes für die Halbleiterbranche genehmigt. 222 Millionen Euro sollen nach Oberkochen zum Optik- und Elektronikkonzern Zeiss fließen.

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Die Europäische Kommission hat Beihilfen des Bundes für die Halbleiterbranche in Deutschland genehmigt. Damit können auch 222 Millionen Euro an den Optik- und Elektronikkonzern Zeiss in Oberkochen (Ostalbkreis) fließen. Laut einem Sprecher des Unternehmens braucht es dafür nun noch formal den Beschluss des Bundes.

Projekt für den Ausbau neuartiger Anlagen in der Halbleiter-Industrie

Gefördert wird das Projekt mit dem Titel "HNA@SCALE" und damit verbunden der Bau einer Produktionsstätte in Oberkochen. Mit dem Projekt sollen die nächsten Entwicklungsschritte bei der EUV-Lithographie getan werden. Die Technologie dient der Herstellung von Maschinen zur Chipproduktion zum Beispiel für Computer, für autonomes Fahren oder Künstliche Intelligenz.

Wie die neue Produktionsstätte konkret aussehen soll, dazu gab es noch keine Angaben. So ist es nach Angaben eines Unternehmenssprechers noch unklar, ob dafür extra ein Gebäude erstellt werden wird oder die Produktion in eine andere Halle integriert wird. Auch sei die zeitliche Umsetzung noch offen.

Anlage mit Beleuchtungssystem wiegt sechs Tonnen

Den jüngsten Technologieschritt bei der Chipherstellung bezeichnet Zeiss als High-NA-EUV-Litographie. Mit ihr kommen drei Mal mehr Transistoren auf die Chips. Sie sollen so kleiner und effizienter werden. Die Maschinen, die solche Chips herstellen, baut der niederländische Konzern ASML. Von Zeiss SMT in Oberkochen kommt dafür die Optik.

Beihilfen des Staates unterliegen in der EU strengen Regeln

Weitere Beihilfen an die Halbleiterindustrie können nach dem Beschluss der EU-Kommission an ein Projekt der Firma Zadient in Sachsen-Anhalt fließen. In Bitterfeld soll mittels eines neuen Verfahrens ultrareines Siliziumkarbit für Chips produziert werden. Die Zustimmung der EU war nötig, weil Staatshilfe in der EU strengen Regeln unterliegt. So soll Wettbewerbsverzerrung vermieden und verhindert werden, dass beispielsweise finanzstarke Länder wie Deutschland und Frankreich ihren Unternehmen unverhältnismäßige Vorteile gegenüber Unternehmen aus kleineren Ländern verschaffen.

Die Halbleitersparte Zeiss SMT läuft auch ohne staatliche Zuschüsse gut. Sie hat ihren Umsatz zuletzt um 23 Prozent auf mehr als fünf Milliarden Euro gesteigert. Dass sie nun auch noch so viel Steuergeld erhält, hat politische Gründe. Deutschland will unabhängiger in Schlüsseltechnologien werden und im Halbleiterbereich die Lieferketten in der EU sichern.

Halbleiter und Mikrochips - eine absolute Schlüsseltechnologie

Bei Zeiss sieht man die hohen Fördergelder als gerechtfertigt. "Es handelt sich um eine absolute Schlüsseltechnologie mit Entwicklungszeiten von 20 bis 30 Jahren", erklärt Julian Bosch von der Carl Zeiss AG. Allein im Bereich Halbleitertechnik arbeite der Oberkochener Konzern mit rund 1.500 Partnern zusammen. "Das hat eine gewaltige Dimension, wo man noch nicht weiß, welche Anwendungen und weitere Entwicklungen sich daraus in der Zukunft ergeben können."

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SWR

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